X射线荧光分析仪(XRF)是一种基于X射线荧光光谱法的元素分析仪器,广泛应用于地质勘探、材料检测、环境监测等领域,可实现对样品中多种元素的快速定性与定量分析。其核心原理是利用激发源产生的高能X射线轰击样品,使样品中原子的内层电子发生跃迁,进而辐射出特征X射线(荧光X射线),通过检测特征X射线的波长(或能量)与强度确定元素种类及含量。
具体过程分为三步:一是激发,X射线管产生的初级X射线光子撞击样品原子,将内层(如K层、L层)电子击出,形成电子空位;二是跃迁,原子外层电子自发跃迁至内层空位,以释放能量达到稳定状态;三是荧光辐射,跃迁过程中释放的能量以X射线光子形式辐射,即荧光X射线,其能量等于内外层电子的能级差,具有元素特异性。
核心相关公式包括:1. 莫塞莱定律,用于表征特征X射线波长与元素原子序数的关系,表达式为√(1/λ) = K(Z - σ),其中λ为特征X射线波长,Z为元素原子序数,K为与能级相关的常数,σ为屏蔽常数;2. 荧光强度定量公式,I = k·c^n,其中I为荧光X射线强度,k为与仪器参数、元素激发效率相关的常数,c为样品中目标元素含量,n为校正系数(理想条件下n≈1),该公式是定量分析的基础,实际应用中需通过标样校准消除基体效应影响。

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